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Ⅲ-13정밀도정밀위치결정테이블의정밀도규격은형식에따라다르며,그측정방법을아래에표시합니다.또한,원하시는동작특성시험등의사용조건에맞게모델시험도시행하고있으니,IKO로문의하여주십시오.정밀위치결정테이블에는,각형식의정밀도규격에관한검사성적표또는검사합격증이첨부되어있습니다.반복위치결정정밀도임의의1점에같은방향으로위치결정을7회반복하여정지위치를측정한최대차의1/2를선정합니다.이측정을원칙으로하여,스트로크의중앙및거의양단의각각의위치에서실시하여,얻어진값중에서최대치를측정치로합니다.최대차의1/2에±를붙여서표시합니다.위치결정정밀도기준위치에서일정방향으로순차위치결정을실시하여,각각의위치에서실제로이동한거리와이동해야만하는거리와의차를측정하여,그것들의스트로크내에최대차를절대치로표시합니다.자세정밀도(피칭,요잉)MyMp스트로크범위내에서테이블이피칭방향(Mp)및요잉방향(My)으로각각기우는각도를레이저각도측정시스템으로측정하고,이때의최대차를측정값으로합니다.●피칭(Mp)테이블이동축에대한상하방향의각도변화●요잉(My)테이블이동축에대한좌우방향의각도변화테이블운동의평행도AXY슬라이드테이블의운동과평면(정밀위치결정테이블취부면)과의평행도(인디케이터고정측정)를말합니다.●슬라이드테이블길이보다스트로크가짧은경우정밀위치결정테이블을취부한정반위에테스트인디케이터를고정하고,슬라이드테이블위에는스트레이트엣지를놓고,그중안에테스트인디케이터를접촉합니다.X방향및Y방향의스트로크의대부분전역에걸쳐서측정하여,이때의최대차를측정치로합니다.●슬라이드테이블길이보다스트로크가긴경우정밀위치결정테이블을취부한정반위에테스트인디케이터를고정하고,슬라이드테이블위에는스트레이트엣지를놓고,그중앙에테스트인디케이터를접촉합니다.X방향및Y방향의스트로크중에서,테이블길이만큼씩테이블을이동시키면서,스트로크의대부분전역에걸쳐서측정하여,이때의최대차를측정치로합니다.ℓ1ℓ2ℓ7측정치ℓ1,ℓ2,…ℓ7의최대차의1/2측정간격이동거리LΔLΔL=(실제로이동한거리)—(이동거리의지령치)기준위치
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