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Ⅲ-14테이블운동의평행도B슬라이드테이블의운동과평면(테이블취부면)과의평행도(인디케이터고정측정)를말합니다.슬라이드테이블중앙에인디케이터를고정하고,정밀위치결정테이블을취부한정반위에테스트인디케이터를접촉하여,X방향및Y방향의스트로크의대부분전역에걸쳐서측정하여,이때의최대차를측정치로합니다.진직도직선이어야만하는슬라이드테이블의운동이이상적인직선이아닌상태를말합니다.ㆍ수평진직도:슬라이드테이블의이동축좌우(수평)방향의동작.ㆍ수직진직도:슬라이드테이블의이동축상하(수직)방향의동작.테스트바와인디케이터또는레이져진직도측정시스템으로측정합니다.측정치를서로평행한두개의직선으로하여,그간격이최소로되도록끼웠을때의두직선의간격으로표시합니다.XY운동의직각도X축과Y축의운동직각도를말합니다.슬라이드테이블위에직각자를어느쪽이든이동축방향을기준으로정해놓고,기준의이동축과직각에,테스트인디케이터를접촉하여,그축의스트로크내의값을읽어,최대차를측정치로합니다.백레쉬슬라이드테이블을움직여서,약간움직였을때의테스트인디케이터의값을기준으로하여,다시한번그상태로부터이송장치를통하지않고,슬라이드테이블을같은방향으로소정의힘으로움직였다가,그힘을없앴을때에기준치와의차를구합니다.이측정을스트로크의중앙및거의양단의각각의위치에서실시하여,얻어진값중에서최대치를측정치로합니다.로스트모션먼저한곳의위치에대하여,정방향으로위치결정을실행하고,그위치를측정합니다.(그림의ℓ1)다음으로같은방향으로지령하여이동시키고,그위치로부터반대방향으로같은지령을하여이동시키고,그위치를측정합니다.(그림의ℓ1′)다시한번반대방향으로지령하여이동시키고,그위치로부터정방향으로동일의지령을하여이동시켜서,그위치를측정합니다.(그림의ℓ2)이하의이동작및측정을반복하여,정방향및역방향에서각각7회의위치결정을한후,정지위치의평균치의차를구합니다.이측정을동작의중앙및거의양단각각의위치에서실시하여,얻어진값중에서최대치를측정치로합니다.로스트모션의측정치=||17(ℓ1+ℓ2+…ℓ7)–17(ℓ1′+ℓ2′+…+ℓ7′)||max진직도Δ직각자XYℓ1′ℓ2′ℓ3′ℓ1ℓ2ℓ3
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