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호칭번호호칭번호의배열예1SA21201DE354XYS5R64/호칭번호선정툴123456형식크기분해능축구성표면처리사양번호Ⅱ–275페이지Ⅱ–275페이지Ⅱ–275페이지Ⅱ–275페이지Ⅱ–275페이지Ⅱ–275페이지호칭번호와사양의상세사항SA…DE:얼라이먼트스테이지SA65,φ65:□65120:□120,φ120200:□200,φ2001:0.1μm5:0.5μmX축또는XY축의엔코더분해능을지정합니다.4의항목에서,S:θ축만을선택할경우는,분해능은무기호로해주십시오.표1에표시한축구성으로부터선택합니다.SA65DESA120DESA200DE○○○○○○○○○○무기호:무전해니켈도금R표면처리는테이블과배드의표면에처리합니다.:흑색크롬피막처리4:사양번호4○○○○○123형식크기분해능4축구성표1축구성과적용축구성:X축만:θ축만:XY:XθXSXYXSXYS:XYθ3축구성의2축구성의2축구성56표면처리사양번호Ⅱ-275
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