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호칭번호의배열예1213456SA120DE/5XYSR4형식1Ⅱ–275페이지크기2Ⅱ–275페이지분해능3Ⅱ–275페이지축구성4Ⅱ–275페이지표면처리5Ⅱ–275페이지사양번호6Ⅱ–275페이지SA…DE:얼라이먼트스테이지SA65:□65,φ65120:□120,φ120200:□200,φ2001:0.1μm5:0.5μmX축또는XY축의엔코더분해능을지정합니다.4의항목에서,S:θ축만을선택할경우는,분해능은무기호로해주십시오.표1에표시한축구성으로부터선택합니다.무기호:무전해니켈도금R:흑색크롬피막처리표면처리는테이블과배드의표면에처리합니다.4:사양번호4형식1크기2분해능3축구성4표1축구성과적용축구성SA65DESA120DESA200DEX:X축만○○○S:θ축만○○○XY:XY의2축구성○○○XS:Xθ의2축구성○○○XYS:XYθ3축구성○○○표면처리5사양번호6Ⅱ-275호칭번호와사양의상세사항호칭번호호칭번호선정툴
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