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직선이동용X테이블과회전위치결정θ테이블을기본코어레스리니어모터와리니어웨이L,크로스롤러베어링을채택.구성으로하여라인업.X축과θ축의조합이나XY축의볼스크류구동스테이지와비교해서,지극히낮은단면높이를얼라이먼트테이블을간단히구성할수있습니다.실현하고있습니다.●슬림형·컴팩트3크레지트카드XY축Xθ축XYθ축00.10.20.30.40.50.60.70.80.9이동시간11.5210.088.647.25.764.322.881.440-1.44이동량초측정조건SA120DE/1S탑재질량:1000g:1.44초실제속도이송지령위치결정완료신호시간지령속도속도구동조건SA120DE/1X속도가감속시간스트로크탑재질량:100mm/s:20ms:20mm:250g高분해능리니어엔코더를내장한다이렉트드라이브방식의스테이지를풀크로즈드루프제어하여,高분해능과高정밀도를실현하였습니다.●高분해능·高응답4얼라이먼트스테이지SA스팩일람SA65DE/XSA120DE/XSA200DE/XSA65DE/SSA120DE/SSA200DE/S직동안내부에소형직동안내기기리니어웨이L,회전안내부에크로스롤러베어링을사용하여,구동부에다이렉트드라이브방식을채택한저단면컴팩트XYθ운동을실현하는얼라이먼트스테이지입니다.●컴팩트한XYθ테이블Points12●XYθ조합이자유1202006512020030252230251565253.52.41070155.920400(250)70최대토크0.5N·m정격토크0.06N·m30.0(20.0)2.2최대토크2.0N·m정격토크0.4N·m6.8최대토크8.0(6.0)N·m정격토크2.0N·m21.2(17.1)20유효동작각도유효동작각도유효동작각도50도0.64초60도0.36초280도0.25초5625pulse/도10000pulse/도14400pulse/도0.10.50.10.50.10.5270500270800270800720도/s400도/s270도/s±0.5±0.5±0.5±1.3초±0.8초±0.5초비고()안의값은ADVA-R5ML드라이버와조합한경우입니다.Ⅱ-274형식과크기단면형상최대추력N정격추력N최대가반질량kg유효스트로크mm분해능μm최고속도mm/s반복위치결정정밀도μm
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