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얼라이먼트스테이지SA스팩일람1●컴팩트한XYθ테이블직동안내부에소형직동안내기기리니어웨이L,회전안내부에크로스롤러베어링을사용하여,구동부에다이렉트드라이브방식을채택한저단면컴팩트XYθ운동을실현하는얼라이먼트스테이지입니다.2●XYθ조합이자유직선이동용X테이블과회전위치결정θ테이블을기본구성으로하여라인업.X축과θ축의조합이나XY축의얼라이먼트테이블을간단히구성할수있습니다.4●高분해능·高응답高분해능리니어엔코더를내장한다이렉트드라이브방식의스테이지를풀크로즈드루프제어하여,高분해능과高정밀도를실현하였습니다.3●슬림형·컴팩트코어레스리니어모터와리니어웨이L,크로스롤러베어링을채택.볼스크류구동스테이지와비교해서,지극히낮은단면높이를실현하고있습니다.PointsSA120DE/1X속도:100mm/s가감속시간:20ms스트로크:20mm탑재질량:250gSA120DE/1S탑재질량:1000g이송지령:1.44초구동조건속도지령속도위치결정완료신호실제속도측정조건이동량초이동시간XY축Xθ축XYθ축시간크레지트카드-1.4401.442.884.325.767.28.6410.0811.5200.10.20.30.40.50.60.70.80.9253.52.4100.50.170155.920400(250)7030.0(20.0)200.50.15002708002700.12708000.52.2720도/s최대토크0.5N·m최대토크2.0N·m최대토크8.0(6.0)N·m유효동작각도50도유효동작각도60도유효동작각도280도정격토크0.06N·m0.64초5625pulse/도0.36초10000pulse/도0.25초14400pulse/도정격토크0.4N·m정격토크2.0N·m6.8400도/s21.2(17.1)270도/sSA65DE/XSA120DE/XSA200DE/XSA65DE/SSA120DE/SSA200DE/S±0.5±0.5±0.5±1.3초±0.8초±0.5초15652225120252003065120형식과크기단면형상유효스트로크mm분해능μm정격추력N최대가반질량kg최대추력N반복위치결정정밀도μm최고속도mm/s비고()안의값은ADVA-R5ML드라이버와조합한경우입니다.30200Ⅱ-274
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