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θ테이블리니어엔코더용헤드메카스토퍼X테이블리니어웨이크로스롤러베어링가동자마그네트메카스토퍼고정자코일고정자코일가동자마그네트로스트모션테이블운동의평행도A테이블운동의평행도B자세정밀도진직도백레쉬———————XY축:±0.0005θ축:±0.5~1.3초얼라이먼트스테이지SA구동테이블ㆍ배드의재질센서리니어모터XY축:리니어웨이(볼타입)윤활부품「C루브」내장탄소강표준장착θ축:크로스롤러베어링(θ축및SA65DE/X는제외)SAࢫࢫࢫDE직동안내기기ㆍ베어링윤활반복위치결정정밀도위치결정정밀도주요제품사양정밀도단위mm리니어모터구동얼라이먼트직선Ⅱ-273
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