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얼라이먼트스테이지SASAࢫࢫࢫDE리니어모터구동직선얼라이먼트θ테이블크로스롤러베어링가동자마그네트메카스토퍼고정자코일가동자마그네트고정자코일주요제품사양구동리니어모터직동안내기기ㆍ베어링윤활XY축:리니어웨이(볼타입)θ축:크로스롤러베어링윤활부품「C루브」내장(θ축및SA65DE/X는제외)테이블ㆍ배드의재질탄소강센서표준장착Ⅱ-273X테이블리니어웨이리니어엔코더용헤드메카스토퍼정밀도반복위치결정정밀도위치결정정밀도로스트모션테이블운동의평행도A테이블운동의평행도B자세정밀도진직도백레쉬단위mmXY축:±0.0005θ축:±0.5~1.3초———————
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