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표2.1사양ㆍ성능호칭번호항목SA65DE/1XSA65DE/5XSA120DE/1XSA120DE/5XSA200DE/1X(8)SA200DE/5X(8)최대추력(1)N2570400(250)정격추력(2)N3.515(7)70유효스트로크mm102020최대가반질량kg2.45.930.0(20.0)분해능μm0.10.50.10.50.10.5최고속도(3)(4)mm/s270500270800270800반복위치결정정밀도(5)μm±0.5가동부질량kg0.171.23.4총질량(6)kg0.352.57.2사용주위온도ㆍ습도0~40˚Cㆍ20~80%RH(결로가없을것)주(1)최대추력의지속시간은최대1초입니다.(2)주위온도20˚C,금속제상대물에취부했을경우입니다.(3)표시된속도를초과하는경우IKO에문의해주십시오.(4)사용하는컨트롤러의최대출력주파수,드라이버의종류및설정에따라이최고속도에도달하지않는경우도있습니다.(5)제품본체의온도가일정한경우입니다.(6)케이블질량은포함하지않습니다.(7)정격추력은유효스트로크범위내에서적용합니다.(8)()안의값은ADVA-R5ML드라이버와조합한경우입니다.표2.2사양ㆍ성능호칭번호항목SA65DE/SSA120DE/SSA200DE/S(7)최대토크(1)Nㆍm0.52.08.0(6.0)정격토크(2)Nㆍm0.060.42.0최대가반질량kg2.26.821.2(17.1)유효동작각도도5060280분해능초0.640.360.25pulse/도56251000014400최고속도(3)(4)도/s720400270반복위치결정정밀도()초±1.3±0.8±0.5가동부관성모멘트kgㆍm20.000120.0020.013총질량(6)kg0.526사용주위온도ㆍ습도0~40˚Cㆍ20~80%RH(결로가없을것)주(1)최대토크의지속시간은최대1초입니다.(2)주위온도20˚C,금속제상대물에취부했을경우입니다.(3)표시된속도를초과하는경우IKO에문의해주십시오.(4)사용하는컨트롤러의최대출력주파수,드라이버의종류및설정에따라이최고속도에도달하지않는경우도있습니다.(5)제품본체의온도가일정한경우입니다.(6)케이블질량은포함하지않습니다.(7)()안의값은ADVA-R5ML드라이버와조합한경우입니다.그림1동적가반질량비고θ축의동적가반질량은강철의입방체로하여계산한값입니다.또는,가속도는스테이지외륜원주의값으로하여개산합니다.0.10.011101001010.10.01110100101동적가반질량kg가속도m/s2〈X(Y)축〉동적가반질량kg외륜의가속도m/s2〈θ축〉SA200DE/X(200V)SA200DE/X(100V)SA120DE/XSA65DE/XSA200DE/S(200V)SA200DE/S(100V)SA120DE/SSA65DE/S각종특성Ⅱ-276