>> P.195
크린정밀위치결정테이블TC청정도측정에관하여청정도란,단위체적당부유입자의크기(입자직경)와갯수로공기의청정한정도를분류한것입니다.IKO는아래에표시된방법에따라청정도측정을시행하고있습니다.●측정조건●시험장치외관항목내용측정기기파티클카운터측정부공기유속2.5m/s측정공기량측정시간28.3L(1cf)48h(10min/회,1회/h)●시험장치개략도【측정환경】크린룸내크린벤치(아크릴커버내크린에어인입)크린에어아크릴커버측정부공기유속2.5m/s흡인펌프쪽으로파티클카운터쪽으로●청정도클래스상한농도(JISB9920:2002)단위개/m3청정도클래스클래스1클래스2클래스3클래스4클래스5클래스6Ⅱ-1710.1μm101001000100001000001000000측정입자직경0.2μm0.3μm0.5μm224237237023700237000-10102102010200102000-435352352035200
| < 
| 
> | 
>>
