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크린 정밀 위치 결정 테이블 TC청정도 측정에 관하여청정도란, 단위 체적당 부유 입자의 크기(입자 직경)와 갯수로 공기의 청정한 정도를 분류한 것입니다.IKO는 아래에 표시된 방법에 따라 청정도 측정을 시행하고 있습니다.●측정 조건●시험 장치 외관항목내용측정 기기파티클 카운터측정부 공기 유속2.5m/s측정 공기량28.3L(1cf)측정 시간48h(10min/회, 1회/h)●시험 장치 개략도【측정 환경】크린룸내 크린 벤치(아크릴 커버내 크린 에어 인입)크린 에어아크릴 커버측정부 공기 유속 2.5m/s흡인 펌프쪽으로파티클 카운터쪽으로●청정도 클래스 상한 농도(JIS B 9920 : 2019)단위개/m3청정도 클래스클래스1클래스2클래스3클래스4클래스5클래스6Ⅱ-1710.1μm101001000100001000001000000측정 입자 직경0.2μm0.3μm0.5μm224237237023700237000-10102102010200102000-435352352035200
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