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크린정밀위치결정테이블TC항목측정기기측정부공기유속측정공기량측정시간내용파티클카운터2.5m/s28.3L(1cf)48h(10min/회,1회/h)단위개/m3청정도클래스클래스1클래스2클래스3클래스4클래스5클래스6측정입자직경0.1μm1010010001000010000010000000.2μm2242372370237002370000.3μm-101021020102001020000.5μm-435352352035200【측정환경】크린룸내크린벤치(아크릴커버내크린에어인입)크린에어측정부공기유속2.5m/s흡인펌프쪽으로파티클카운터쪽으로아크릴커버청정도란,단위체적당부유입자의크기(입자직경)와갯수로공기의청정한정도를분류한것입니다.IKO는아래에표시된방법에따라청정도측정을시행하고있습니다.●청정도클래스상한농도(JISB9920:2002)●측정조건●시험장치개략도●시험장치외관청정도측정에관하여Ⅱ-171
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