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●경량·저단면·컴팩트한크린테이블경량ㆍ저단면ㆍ컴팩트한정밀위치결정테이블TE를밀폐하며,밀폐공간에서공기를흡입함으로써주변의베이스로,테이블내부의밀폐성을높인구조의위치결정분진발생을막아IKO측정청정도평가클래스3을●청정도클래스3대응Ⅱ-171페이지슬라이드테이블내의수지제롤러로스텐레스시트를사이드커버에붙이고,강력한마그네트시트로확실하게흡착하여,구동부분이나슬라이드테이블안내부를2Points1테이블.직동안내부와볼스크류의최적설계에의해높이치수는,TC50EB가50mm,TC60EB가54mm,TC86EB가67mm의저단면을실현하고있습니다.센서는,사이드커버의센서설치용홈에직접설치하는구조이므로,스페이스절감에도공헌합니다.●高내식성3주요구성부품은,알루마이트처리를한高강도알루미늄합금과스텐레스강(스텐레스시트)를사용하고있어,내식성에우수합니다.실현하고있습니다.슬라이드테이블안내부와볼스크류에는크린환경용저발진그리스CGL을주입하여발진을억제하고있습니다.수지제롤러스텐레스시트슬라이드테이블사이드커버사이드커버패킹마그네트시트패킹밀폐구조다양한제품군형상형식TC…EB50☆배드폭치수(mm)60☆86☆Ⅱ-170
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