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TC50EB150(볼스크류의 리드:4mm)스트로크:50mm속도:200mm/s흡인량:5L/minTC50EB300(볼스크류의 리드:8mm)스트로크:200mm속도:400mm/s흡인량:10L/min클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스2 상한클래스1 상한측정치100000100001000100101입자 농도 개/m3클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스2 상한측정치클래스1 상한100000100001000100101입자 농도 개/m30.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상입자 직경0.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상입자 직경TC60EB300(볼스크류의 리드:10mm)스트로크:200mm속도:500mm/s흡인량:30L/minTC60EB600(볼스크류의 리드:10mm)스트로크:500mm속도:500mm/s흡인량:30L/min클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스2 상한측정치클래스1 상한100000100001000100101입자 농도 개/m3클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스2 상한측정치클래스1 상한100000100001000100101입자 농도 개/m30.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상입자 직경0.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상입자 직경TC86EB640(볼스크류의 리드:20mm)스트로크:500mm속도:1000mm/s흡인량:70L/minTC86EB940스트로크:800mm(볼스크류의 리드:20mm)속도:560mm/s흡인량:40L/min클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스2 상한측정치클래스1 상한100000100001000100101입자 농도 개/m3클래스5 상한클래스4 상한클래스3 상한클래스1 상한측정치클래스2 상한100000100001000100101입자 농도 개/m30.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상입자 직경0.1μm이상0.2μm이상0.3μm이상0.5μm이상입자 직경흡인량L/min청정도 클래스(JIS B 9920:2019)5101030303030407040클래스2클래스2클래스2클래스3클래스3클래스3클래스3클래스3클래스3클래스3Ⅱ-172속도mm/s2002004002505005005005001000560형식과 크기배드 길이볼스크류의 리드mm스트로크mm50100200502005002005005008004485101010102020150200300150300600340640640940TC50EBTC60EBTC86EB비고 청정도는 사용 환경 및 운전 조건에 따라 다를수 있습니다.●청정도 측정 결과청정도 실측 데이터●측정 데이터 예 [청정도 클래스 상한 농도 그래프]
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