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Ⅲ13精度精密位置決めテーブルの精度規格は形式によって異なり、その測定方法を以下に示します。また、ご要望により動特性試験など使用条件に合わせたモデル試験も行っていますので、IKOにお問い合わせください。精密位置決めテーブルには、各形式の精度規格に関する検査成績表又は検査合格証が添付されています。繰返し位置決め精度任意の一点に同じ方向から位置決めを7回繰り返して停止位置を測定し、読みの最大差の1/2を求めます。この測定を原則としてストローク長さの中央及びほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうち最大のものを測定値とします。最大差の1/2に±を付けて表します。位置決め精度基準位置から一定方向に順次位置決めを行い、それぞれの位置で実際に移動した距離と移動すべき距離との差を測定し、それらのストローク長さ内における最大差を絶対値で表示します。姿勢精度(ピッチング、ヨーイング)ストロークの範囲内でテーブルがピッチング方向(Mp)とヨーイング方向(My)のそれぞれ傾く角度をレーザ角度測定システムで測定し、読みの最大差を測定値とします。●ピッチング(Mp)テーブル移動軸における上下方向の角度変化●ヨーイング(My)テーブル移動軸における左右方向の角度変化テーブル運動の平行度Aスライドテーブルの運動と平面(精密位置決めテーブル取付面)との平行度(インジケータ定置)をいいます。●スライドテーブル長さよりストロークが短い場合精密位置決めテーブルを取付けた定盤上にテストインジケータを固定し、スライドテーブル上にはストレートエッジを置き、その中央にテストインジケータを当てます。X方向およびY方向のストローク長さのほぼ全域にわたり測定し、読みの最大差を測定値とします。●スライドテーブル長さよりストロークが長い場合精密位置決めテーブルを取り付けた定盤上にインジケータを固定し、スライドテーブル上にはストレートエッジを置きその中央にテストインジケータを当てます。X方向およびY方向のストローク中において、テーブルの長さ分ずつテーブルを移動させながら、ストローク長さのほぼ全域にわたり測定し、読みの最大差を測定値とします。ℓ1ℓ2ℓ7測定値ℓ1、ℓ2、…ℓ7の最大差の1/2測定間隔移動距離L⊿L⊿L=(実際に移動した距離)-(移動距離の指令値)基準位置MyMpXY
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