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Ⅲ14テーブル運動の平行度Bスライドテーブルの運動と平面(テーブル取付面)との平行度(インジケータ移動)をいいます。スライドテーブル中央にインジケータを固定し、精密位置決めテーブルを取り付けた定盤上にテストインジケータを当て、X方向及びY方向のストローク長さのほぼ全域にわたり測定し、読みの最大差を測定値とします。真直度直線であるべきスライドテーブルの運動が、理想直線から狂っている程度をいいます。・水平真直度:スライドテーブルの移動軸の左右(水平)方向の動き。・垂直真直度:スライドテーブルの移動軸の上下(垂直)方向の動き。テストバーとインジケータ又はレーザ真直度測定システムで測定します。測定値を互いに平行な二つの直線で、その間隔が最小になるようにはさんだ時の両直線の間隔で表します。XY運動の直角度X軸とY軸の運動の直角度をいいます。スライドテーブル上に直角定規をどちらかの移動軸方向を基準に定置し、基準の移動軸と直角にテストインジケータを当て、その軸のストローク長さ内の読みの最大差を測定値とします。バックラッシスライドテーブルに送りをかけて、わずか動かしたときのテストインジケータの読みを基準とし、更にその状態から送り装置によらずに、スライドテーブルを同方向に所定の荷重で動かし、荷重を抜いた時に基準値との差を求めます。この測定をストローク長さの中央及びほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうち最大のものを測定値とします。ロストモーションまず一つの位置について正の向きで位置決めを行い、その位置を測定します(図のℓ1)。次に同じ向きに指令を与えて移動させ、その位置から負の向きに同一の指令を与えて移動させて負の向きでの位置決めを行い、その位置を測定します(図のℓ1′)。更に負の向きに指令を与えて移動させ、その位置から正の向きに同一の指令を与えて移動させて正の向きでの位置決めを行い、その位置を測定します(図のℓ2)。以下この動作および測定を繰り返し、正および負の向きでの、それぞれ7回の位置決めの停止位置の平均値の差を求めます。この測定を動きの中央およびほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうち最大のものを測定値とします。ロストモーションの測定値=|17(ℓ1+ℓ2+…ℓ7)-17(ℓ1′+ℓ2′+…+ℓ7′)|max真直度⊿直角定規XYℓ1′ℓ2′ℓ3′ℓ1ℓ2ℓ3
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