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呼び番号呼び番号の配列例1SA21201DE354XYS5R64/呼び番号選定ツール123456形式大きさ分解能軸構成表面処理仕様番号Ⅱ275ページⅡ275ページⅡ275ページⅡ275ページⅡ275ページⅡ275ページ呼び番号と仕様の詳細SA…DE:アライメントステージSA65、φ65:□65120:□120、φ120200:□200、φ2001:0.1μm5:0.5μmX軸またはXY軸のエンコーダの分解能を指定します。4の項でS:θ軸のみを選択する場合は、分解能は無記号としてください。表1に示す軸構成から選択します。SA65DESA120DESA200DE○○○○○○○○○○無記号:無電解ニッケルめっきR表面処理はテーブルとベッドの表面に施します。:黒色クロム皮膜処理4:仕様番号4○○○○○123形式大きさ分解能4軸構成表1軸構成と適用軸構成:X軸のみX:θ軸のみS:XYの2軸構成XY:Xθの2軸構成XSXYS:XYθの3軸構成56表面処理仕様番号Ⅱ275
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