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表2.1仕様・性能呼び番号項目SA65DE/1XSA65DE/5XSA120DE/1XSA120DE/5XSA200DE/1X(8)SA200DE/5X(8)最大推力(1)N2570400(250)定格推力(2)N3.515(7)70有効ストローク長さmm102020最大可搬質量kg2.45.930.0(20.0)分解能μm0.10.50.10.50.10.5最高速度(3)4)mm/s270500270800270800繰返し位置決め精度(5)μm±0.5可動部質量kg0.171.23.4総質量(6)kg0.352.57.2使用周囲温度・湿度0～40°C・20～80%RH(結露しないこと)注(1)最大推力の持続時間は最大1秒です。(2)周囲温度20°C、金属製の相手部材に取り付けた場合です。(3)表示の速度を超える場合については、IKOにお問い合わせください。(4)使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。(5)製品本体の温度が一定の場合です。(6)コードの質量は含んでいません。(7)定格推力は、有効ストローク範囲内に適用します。(8)()内の値はADVA-R5MLドライバと組み合わせた場合です。表2.2仕様・性能呼び番号項目SA65DE/SSA120DE/SSA200DE/S(7)最大トルク(1)N・m0.52.08.0(6.0)定格トルク(2)N・m0.060.42.0最大可搬質量kg2.26.821.2(17.1)有効動作角度度5060280分解能秒0.640.360.25pulse/度56251000014400最高速度(3)4)度/s720400270繰返し位置決め精度(5)秒±1.3±0.8±0.5可動部慣性モーメントkg・m20.000120.0020.013総質量(6)kg0.526使用周囲温度・湿度0～40°C・20～80%RH(結露しないこと)注(1)最大トルクの持続時間は最大1秒です。(2)周囲温度20°C、金属製の相手部材に取り付けた場合です。(3)表示の速度を超える場合については、IKOにお問い合わせください。(4)使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。(5)製品本体の温度が一定の場合です。(6)コードの質量は含んでいません。(7)()内の値はADVA-R5MLドライバと組み合わせた場合です。図1動的可搬質量備考θ軸の動的可搬質量は鋼の立方体として計算した値です。また、加速度はステージ外周部の値として換算しています。動的可搬質量kg0.10.01110100加速度m/s2〈X(Y)軸〉101動的可搬質量kg0.10.01110100外周の加速度m/s2〈θ軸〉101SA200DE/X(200V)SA200DE/X(100V)SA120DE/XSA65DE/XSA200DE/S(200V)SA200DE/S(100V)SA120DE/SSA65DE/S諸特性精密位置決めテーブルの取付面の加工精度や固定ねじの締付トルクについては、Ⅲ-35～Ⅲ-36ページをご参照ください。取付けⅡ276
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