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253.52.4100.50.170155.920400(250)7030.0(20.0)200.50.15002708002700.12708000.52.2720度/s最大トルク0.5N·m最大トルク2.0N·m最大トルク8.0(6.0)N·m有効動作角度50度有効動作角度60度有効動作角度280度定格トルク0.06N·m0.64秒5625pulse/度0.36秒10000pulse/度0.25秒14400pulse/度定格トルク0.4N·m定格トルク2.0N·m6.8400度/s21.2(17.1)270度/sSA65DE/XSA120DE/XSA200DE/XSA65DE/SSA120DE/SSA200DE/S±0.5±0.5±0.5±1.3秒±0.8秒±0.5秒15652225120252003065120アライメントステージSAスペック一覧形式と大きさ断面形状有効ストローク長さmm分解能μm定格推力N最大可搬質量kg最大推力N繰返し位置決め精度μm最高速度mm/s1●コンパクトなXYθテーブル直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。2●XYθの組み合わせが自由直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成としてラインナップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。4●高分解能・高応答高分解能リニアエンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより、高分解能と高精度を実現しました。3●薄形・コンパクトコアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを採用。ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。PointsSA120DE/1X速度:100mm/s加減速時間:20msストローク:20mm搭載質量:250gSA120DE/1S搭載質量:1000g送り指令:1.44秒-1.4401.442.884.325.767.28.6410.0811.5200.10.20.30.40.50.60.70.80.9移動量秒移動時間s時間s備考()内の値はADVA-R5MLドライバと組み合わせた場合です。30200SA65DE/1XYSⅡ274
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