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●コンパクトなXYθテーブルPoints12●XYθの組み合わせが自由直線移動用のXテーブルと、回転位置決め部であるθテーブルを基本構成としてラインナップ。X軸とθ軸の組み合わせやXY軸のアライメントテーブルを簡単に構築することができます。直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。●薄形・コンパクト3SA65DE/1XYSコアレスリニアモータとリニアウェイL、クロスローラベアリングを採用。ボールねじ駆動のステージと比較して、極めて低い断面高さを実現しています。高分解能リニアエンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより、高分解能と高精度を実現しました。11.5210.088.647.25.764.322.881.440-1.44移動量秒SA120DE/1S搭載質量送り指令:1000g:1.44秒時間s00.10.20.30.40.50.60.70.80.9移動時間sアライメントステージSAスペック一覧SA65DE/XSA120DE/XSA200DE/XSA65DE/SSA120DE/SSA200DE/S30200最大トルク8.0(6.0)N·m定格トルク2.0N·m21.2(17.1)有効動作角度280度120最大トルク2.0N·m定格トルク0.4N·m6.8有効動作角度60度20065400(250)70最大トルク0.5N·m定格トルク0.06N·m30.0(20.0)2.220有効動作角度50度0.64秒5625pulse/度2522302515分解能μm0.10.50.10.50.10.50.36秒10000pulse/度0.25秒14400pulse/度最高速度mm/s繰返し位置決め精度μm270500270800270800720度/s400度/s270度/s±0.5±0.5±0.5±1.3秒±0.8秒±0.5秒備考()内の値はADVA-R5MLドライバと組み合わせた場合です。Ⅱ274●高分解能・高応答4SA120DE/1X速度加減速時間ストローク搭載質量:100mm/s:20ms:20mm:250g形式と大きさ断面形状最大推力N定格推力N最大可搬質量ストローク長さkg有効mm65253.52.41012070155.920
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