>> P.297
アライメントステージSASA・・・DEθテーブルリニアモータ駆動直線アライメントクロスローラベアリング可動子マグネットメカストッパ固定子コイル可動子マグネット固定子コイル主な製品仕様駆動リニアモータ直動案内機器・軸受潤滑XY軸:リニアウェイ(ボールタイプ)θ軸:クロスローラベアリング潤滑部品「Cルーブ」内蔵(θ軸及びSA65DE/Xは除く)テーブル・ベッドの材質炭素鋼センサ標準装備Ⅱ273Xテーブルリニアウェイリニアエンコーダ用ヘッドエンダ単位mmXY軸:±0.0005θ軸:±0.5～1.3秒-------メカストッパ精度繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ
| < 
| 
> | 
>>
