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θテーブルリニアエンコーダ用ヘッドメカストッパエンダXテーブルリニアウェイクロスローラベアリング可動子マグネットメカストッパ固定子コイル固定子コイル可動子マグネットロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ------XY軸:±0.0005θ軸:±0.5～1.3秒アライメントステージSA駆動テーブル・ベッドの材質センサリニアモータXY軸:リニアウェイ(ボールタイプ)潤滑部品「Cルーブ」内蔵炭素鋼標準装備θ軸:クロスローラベアリング(θ軸及びSA65DE/Xは除く)SA・・・DE直動案内機器・軸受潤滑繰返し位置決め精度位置決め精度-主な製品仕様精度単位mmリニアモータ駆動アライメント直線Ⅱ273
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