>> P.195
クリーン精密位置決めテーブルTC清浄度の測定について清浄度とは、単位体積あたりの浮遊粒子の大きさ(粒子径)と個数で空気の清浄の度合いを分類したものです。IKOでは以下に示す方法により清浄度の測定を行っています。●試験装置外観●測定条件項目測定機器内容パーティクルカウンタ測定部空気流速2.5m/s測定空気量測定時間28.3L(1cf)48h(10min/回、1回/h)●試験装置概略図【測定環境】クリーンルーム内クリーンベンチ(アクリルカバー内クリーンエア引込み)クリーンエアアクリルカバー測定部空気流速2.5m/s吸引ポンプへパーティクルカウンタへ●清浄度クラスの上限濃度(JISB9920:2002)単位個/m3-4353520.5μm3520352000.1μm1010010001000010000010000000.2μm224237237023700237000測定粒径0.3μm-10102102010200102000清浄度クラスクラス1クラス2クラス3クラス4クラス5クラス6Ⅱ171
| < 
| 
> | 
>>
