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クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100001000100粒子濃度個/m3101クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限測定値クラス1上限0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100001000100粒子濃度個/m3101クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限測定値クラス1上限0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100001000100粒子濃度個/m3101クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限測定値クラス1上限0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100001000100粒子濃度個/m3101クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限測定値クラス1上限0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100001000100粒子濃度個/m3101クラス5上限クラス4上限クラス3上限測定値クラス2上限クラス1上限0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子径100001000100粒子濃度個/m3101TC86EB640(ボールねじのリード:20mm)100000ストローク:500mm速度:1000mm/s吸引量:70L/minTC86EB940(ボールねじのリード:20mm)100000ストローク:800mm速度:560mm/s吸引量:40L/minTC60EB300(ボールねじのリード:10mm)100000ストローク:200mm速度:500mm/s吸引量:30L/minTC60EB600(ボールねじのリード:10mm)100000ストローク:500mm速度:500mm/s吸引量:30L/minTC50EB150(ボールねじのリード:4mm)100000ストローク:50mm速度:200mm/s吸引量:5L/minTC50EB300(ボールねじのリード:8mm)100000ストローク:200mm速度:400mm/s吸引量:10L/min吸引量L/min清浄度クラス(JISB9920:2002)5101030303030407040クラス2クラス2クラス2クラス3クラス3クラス3クラス3クラス3クラス3クラス3Ⅱ172ストロークmm5010020050200500200500500800速度mm/s2002004002505005005005001000560●清浄度測定結果形式と大きさベッド長さボールねじのリードmm4485101010102020TC50EBTC60EBTC86EB150200300150300600340640640940備考清浄度は使用環境及び運転条件により異なります。清浄度の実測データ●測定データ例[清浄度クラスの上限濃度グラフ]
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