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1502003001503006003406406409404485101010102020501002005020050020050050080020020040025050050050050010005605101030303030407040吸引量L/minクラス2クラス2クラス2クラス3クラス3クラス3クラス3クラス3クラス3クラス3ベッド長さボールねじのリードmmストロークmm速度mm/s清浄度クラス(JISB9920:2002)TC60EB300(ボールねじのリード:10mm)TC86EB640(ボールねじのリード:20mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限測定値クラス2上限1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径粒子径クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限測定値ストローク:200mm速度:500mm/s吸引量:30L/minTC60EB600(ボールねじのリード:10mm)TC86EB940(ボールねじのリード:20mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限測定値クラス2上限1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス1上限測定値クラス2上限ストローク:500mm速度:500mm/s吸引量:30L/minTC50EB150(ボールねじのリード:4mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径ストローク:50mm速度:200mm/s吸引量:5L/minTC50EB300(ボールねじのリード:8mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子濃度個/m3粒子径ストローク:200mm速度:400mm/s吸引量:10L/minストローク:800mm速度:560mm/s吸引量:40L/minストローク:500mm速度:1000mm/s吸引量:70L/min備考清浄度は使用環境及び運転条件により異なります。●清浄度測定結果●測定データ例清浄度クラスの上限濃度グラフ]形式と大きさTC50EBTC60EBTC86EB清浄度の実測データクラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限クラス1上限クラス1上限測定値測定値クラス5上限クラス4上限クラス3上限クラス2上限Ⅱ172
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