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●軽量・低断面・コンパクトなクリーンテーブルPoints1軽量・低断面・コンパクトな精密位置決めテーブルTEをベースに、テーブル内部の密閉性を高めた構造の位置決めテーブル。直動案内部とボールねじの最適設計により高さ寸法はTC50EBで50mm、TC60EBで54mm、TC86EBで67mmの低断面を実現しています。センサはサイドカバーのセンサ取付け溝に直接取り付ける構造なので、省スペース化に貢献します。●清浄度クラス3に対応Ⅱ-171ページ2スライドテーブル内の樹脂製ローラでステンレスシートをサイドカバーに押し付け、強力マグネットシートで確実に吸着し、駆動部分やスライドテーブル案内部を密閉。密閉空間から空気を吸引することで周辺への発じんを防ぎ、IKO測定方法による清浄度評価で、クラス3を実現しています。スライドテーブル案内部とボールねじには、クリーン環境用低発じんグリースCGLを封入し、発じんを抑制しています。●高耐食性3主要構成部品は、アルマイト処理を施した高強度アルミニウム合金とステンレス鋼(ステンレスシート)を使用しており、耐食性に優れています。樹脂製ローラステンレスシートスライドテーブルサイドカバーサイドカバーパッキンマグネットシートパッキン密閉構造バリエーション形状形式TC…EB50☆ベッド幅寸法(mm)60☆86☆Ⅱ170
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