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形式・サイズバリエーション⑤多彩な形式・豊富なバリエーションアライメントテーブルATAT●高精度の位置決めで精密角度補正が可能●クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクト●高い繰返し位置決め精度●3つのサイズをシリーズ化仕様形式と大きさ最大動作角度(度)ボールねじリード(mm)ローテータ分解能(μm)AT120AT200AT3005±±±105112112精度繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ回転ステージSKSK…Wボールねじ駆動アライメントⅡ‒324ページへウォームギア駆動回転●テーブルや検査対象物を直接取り付けることで、設計工数のⅡ‒336ページへボールねじ駆動アライメントⅡ‒344ページへ●クロスローラベアリングの採用で高剛性・コンパクト●高精度でなめらかな位置決めが可能仕様形式と大きさテーブルの直径(mm)動作角度範囲(度)テーブルの最高回転数(min-1)SK120WSK120W/SC1151203603205削減を実現精度繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシアライメントモジュールAMAM●大型装置に最適●高精度・高剛性・高信頼性精度繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ●用途に合わせて自由にステージを設計可能●高さ寸法の許容差を±10μmに管理●XYθの多彩な位置決め動作が可能仕様形式と大きさ最大ストローク(mm)トラックレール長さ(mm)ボールねじリード(mm)4455303090120130180290390AM25AM40AM60AM86Ⅰ15
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