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コンパクトタイプLT···CE●コンパクト●高い静止安定性●高い速度安定性●高加減速・高応答●Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様ロングストロークタイプLT···LD●超ロングストローク●高い静止安定性●高い速度安定性●高速・高分解能を両立●Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様ハイスラストタイプLT···H●高推力●高加減速・高応答で滑らかな作動●高い静止安定性●空冷可能●Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様リニアモータ駆動リニアモータ駆動リニアモータ駆動形式と大きさLT100CELT150CELT130LDLT170LDLT170H100012002760272026700.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.00.1、0.5、1.020002000300030001500最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)分解能(μm)繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ項目LT···CELT···LDLT···H精度リニアモータテーブルLT直線直線直線仕様ページへⅡ‒290Ⅰ14
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