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形式と大きさSA65DE/XSA120DE/XSA200DE/XSA65DE/SSA120DE/SSA200DE/S10(mm)20(mm)20(mm)50(度)60(度)80(度)0.1、0.5(μm)0.1、0.5(μm)0.1、0.5(μm)0.64(秒)0.36(秒)0.25(秒)500(mm/s)800(mm/s)800(mm/s)720(度/s)400(度/s)270(度/s)最大ストローク最大動作角度最高速度分解能SA···DE●XYθ3軸を組み合わせた断面高さがわずか52mmの薄型・コンパクト(SA65DE)●XY軸:0.1μm、θ軸:0.36秒の高分解能(SA120DE)●XYθの組合せが自由自在形式・サイズバリエーション④多彩な形式・豊富なバリエーションアライメントステージSA精度リニアモータ駆動繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシアライメント直線仕様ページへⅡ‒272Ⅰ13
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