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形式と大きさAM25AM40AM60AM863030901204455130180290390最大ストローク(mm)トラックレール長さ(mm)ボールねじリード(mm)精度ボールねじ駆動AM●用途に合わせて自由にステージを設計可能●高さ寸法の許容差を±10μmに管理●XYθの多彩な位置決め動作が可能●大型装置に最適●高精度・高剛性・高信頼性アライメントモジュールAMTZ●独自のくさび機構により、コンパクトで高精度な上下方向の位置決めが可能●TZ···Xは、CルーブリニアローラウェイスーパーXを採用し、高精度・高剛性を実現●リニアエンコーダを取付け可能●Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー●2つの減速比をシリーズ化精密昇降テーブルTZ形式と大きさTZ120XTZ200HTZ200X102424455100125125最大ストローク(mm)最高速度(mm/s)ボールねじリード(mm)精度ボールねじ駆動繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシ繰返し位置決め精度位置決め精度ロストモーションテーブル運動の平行度Aテーブル運動の平行度B姿勢精度真直度バックラッシアライメント直線仕様仕様ページへⅡ‒338ページへⅡ‒352Ⅰ16