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Ⅲ-14工作台运动的平行度B指滑台的运动和平面(工作台安装面)的平行度(指示器移动)。将指示器固定于滑台中央,再将测量指示器靠在装有精密定位工作台的平台上,在X方向和Y方向的几乎整个行程长度范围内进行测量,以读数的最大差值为测量值。直线度指应为直线的滑台的运动偏离理想直线的程度。·水平直线度:滑台在移动轴左右(水平)方向的运动。·垂直直线度:滑台在移动轴上下(垂直)方向的运动。通过测量杆和指示器或激光垂直度测量系统进行测量。以相互平行的两条直线之间的最小间隔来表示测量值。XY运动的垂直度指X轴和Y轴的运动的垂直度。以任一移动轴方向为基准将直角尺固定于滑台,与基准移动轴呈直角贴上测量指示器,以该轴行程长度内的读数的最大差值为测量值。背隙使滑台进给,以稍微移动时的测量指示器的读数为基准,在此状态下不依靠进给装置而以规定的负荷向相同的方向移动滑台,求出消除负荷后与基准值的差。该测量在行程长度的中央和两端附近进行,以所求值中的最大值为测量值。无效运动首先,以正方向对一个位置定位,测量该位置(图中的R1)。然后,发出指令向相同方向移动,再发出相同指令从该位置向负方向移动,在负方向定位,测量该位置(图中的R1′)。然后,再发出指令向负方向移动,再从该位置发出相同指令向正方向移动,在正方向定位,测量该位置(图中的R2)。下面将重复进行该动作和测量,向正、负方向各进行7次定位,求出停止位置的平均值之差。该测量在移动距离的中央和两端附近进行,以所求值中的最大值为测量值。无效运动的测量值=︳17(R1+R2+…R7)-17(R1′+R2′+…+R7′)︳max直线度直角尺XYR1′R2′R3′R1R2R3
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