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Ⅲ-15测量工作台升降时的平行度在工作台最底层(Hmin)的位置,以工作台安装面为基准,在工作台顶面的测量点E点将指示器归零,以该值为基准测量剩余8点(A～I)的高度。升起工作台,在中层(Hmid)、顶层(Hmax)进行相同的测量,分别求出底层、中层、顶层相同点的测量值的最大差值。所有9个点的最大差值中的最大值为工作台升降时的平行度。测量值为表中所示值时,各点最大差值中的最大值为H点的6μm。最终结果,该工作台升降时的平行度为6μm。测量工作台升降时的垂直度工作台升降时相对于直角尺的垂直度为工作台升降时的垂直度。在工作台底层(Hmin),相对于直角尺,将指示器归零。在该状态下从工作台底层(Hmin)到顶层(Hmax)做往复运动时,抽样检查的跳动最大差值为工作台升降时的垂直度。(含工作台往复运动时的直线度。)将直角尺置于距离工作台顶面10mm的位置,在滚珠丝杠的轴向和与轴呈直角的2个方向测量,两个值中的最大值为工作台升降时的垂直度。ABCDEFGHI【顶层】【中层】【底层】【测量方法】【测量点】【工作台升降时的平行度计算示例】测量点测量值(μm)底层中层顶层最大差值A1211B2-134C3452D4213E0000F-1234G-2335H-3236I-4-2-42【轴向的测量】(X方向)【与轴呈直角方向的测量】(Y方向)
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