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Ⅲ-13精度精密定位工作台的精度规格因型号而异,其测量方法如下所示。还可根据需要进行动态特性试验等满足使用条件的机型试验,请向IKO咨询。精密定位工作台带有与各型号的精度规格相关的检查成绩表或检查合格证。重复定位精度从相同的方向向任意一点重复定位7次,测量停止位置,求出读数最大差值的1/2。该测量原则上分别在行程长度的中央和两端附近进行,以求出值中的最大值为测量值。在最大差值的1/2前加上±予以表示。定位精度从基准位置向一定方向依次定位,在各位置测量实际移动距离与所需移动距离之差,以绝对值表示各行程长度内的最大差值。姿势精度(俯仰、摇摆。)通过激光角度测量系统在行程的范围内测量工作台在俯仰方向(Mp)和摇摆方向(My)上各自的倾斜角度,以读数的最大差值为测量值。●俯仰(Mp)工作台移动轴上下方向的角度变化●摇摆(My)工作台移动轴左右方向的角度变化工作台运动的平行度A指滑台的运动和平面(精密定位工作台安装面)的平行度(指示器固定)。●行程比滑台长度短时将测量指示器固定于装有精密定位工作台的平台,将直规放在滑台上,再将测量指示器靠在中央。在X方向和Y方向的几乎整个行程长度范围内进行测量,以读数的最大差值为测量值。●行程比滑台长度长时将指示器固定于装有精密定位工作台的平台,将直规放在滑台上,再将测量指示器靠在中央。在X方向和Y方向的行程中,以工作台长度为单位移动工作台,同时在几乎整个行程长度范围内进行测量,以读数的最大差值为测量值。R1R2R7测量值R1、R2、⋯R7的最大差值的1/2测量间隔移动距离LL=(实际移动距离)-(移动距离的指令值)基准位置LMyMpXY
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