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公称型号的排列例1213456SA120DE/5XYSR4型号1Ⅱ-275页大小尺寸2Ⅱ-275页分解能3Ⅱ-275页轴构成4Ⅱ-275页表面处理5Ⅱ-275页规格编号6Ⅱ-275页SA…DE:校准工作台SA65:□65、φ65120:□120、φ120200:□200、φ2001:0.1μm5:0.5μm指定X轴或XY轴的编码器分解能。在4的项中仅选择S:θ轴时,请将分解能视作无标记。从表1所示的轴构成中选择。表1轴构成和使用轴构成SA65DESA120DESA200DEX:仅X轴○○○S:仅θ轴○○○XY:XY的双轴构成○○○XS:Xθ的双轴构成○○○XYS:XYθ的三轴构成○○○无标记:无电解镀镍R:黑铬皮膜处理在工作台和底座表面进行表面处理。4:规格编号4型号1大小尺寸2分解能3轴构成4表面处理5规格编号6Ⅱ-275公称型号和规格的说明公称型号公称型号选择工具