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洁净精密定位工作台TC关于清洁度的测量清洁度是指按照每单位体积的浮游粒子大小(粒子直径)与个数,对空气清洁程度进行分类的指标。IKO通过下述所示方法进行了清洁度测量。●测量条件●试验装置外观项目内容测量装置微粒计数器测量部空气流速2.5m/s测量空气量28.3L(1cf)测量时间48h(10min/次、1次/h)●试验装置概略图【测量环境】洁净室用洁净平台(亚克力盖板内引入干净的空气)干净的空气亚克力盖板测量部空气流速2.5m/s至吸引泵至微粒计数器●清洁度等级的上限浓度(JISB9920:2002)单位个/m3清洁度等级1级2级3级4级5级6级Ⅱ-1710.1μm101001000100001000001000000测量的粒子直径0.2μm0.3μm0.5μm224237237023700237000-10102102010200102000-435352352035200
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