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洁净精密定位工作台TC项目测量装置测量部空气流速测量空气量测量时间内容微粒计数器2.5m/s28.3L(1cf)48h(10min/次、1次/h)单位个/m3清洁度等级1级2级3级4级5级6级测量的粒子直径0.1μm1010010001000010000010000000.2μm2242372370237002370000.3μm-101021020102001020000.5μm-435352352035200【测量环境】洁净室用洁净平台(亚克力盖板内引入干净的空气)干净的空气测量部空气流速2.5m/s至吸引泵至微粒计数器亚克力盖板清洁度是指按照每单位体积的浮游粒子大小(粒子直径)与个数,对空气清洁程度进行分类的指标。IKO通过下述所示方法进行了清洁度测量。●清洁度等级的上限浓度(JISB9920:2002)●测量条件●试验装置概略图●试验装置外观关于清洁度的测量Ⅱ-171
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