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Points1●轻量、低断面、紧凑的洁净工作台以轻量、低断面、紧凑的精密定位工作台TE为基础,采用提高了工作台内部密封性结构的定位工作台。通过直线导轨部与滚珠丝杠的优化设计,实现了TC50EB为50mm、TC60EB为54mm、TC86EB为67mm的低断面。传感器直接安装于侧盖的传感器安装槽中,有助于节省空间。2●符合清洁度3级标准通过滑台内的树脂制滚子将不锈钢板固定于侧盖上,然后通过强力磁板牢固吸附,并密封驱动部分及滑台导向部。通过从密闭空间吸引空气,可防止滑台周围发尘。依照IKO测量方法进行的清洁度评估表明,达到了清洁度3级标准。将洁净环境用低尘润滑脂CGL封入滑台导向部与滚珠丝杠,从而抑制了发尘。3●高耐腐蚀性主要构件采用经阳极氧化处理的高强度铝合金与不锈钢(不锈钢板),具有出色的耐腐蚀性。Ⅱ-171页形状型号5060底座宽度尺寸(mm)86TC⋯EB☆☆☆产品群滑台侧盖不锈钢板树脂制圆柱滚子磁板密封垫片密封垫片侧盖密封结构Ⅱ-170
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