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洁净精密定位工作台 TCTC⋯EB滚珠丝杠直线电机支架联轴器盖滑台直线导轨侧盖不锈钢板吸附管接头用管用螺丝滚珠丝杠底座后托架吸附管接头用螺丝主要产品规格精度驱动 精密滚珠丝杠重复定位精度±0.002直线导轨设备直线导轨(滚珠型)内置润滑部件 内置“C-Lube”自润滑部件定位精度无效运动工作台、底座的材质高强度铝合金工作台运动的平行度A0.035~0.065——传感器 通过公称型号选择工作台运动的平行度B0.008~0.016单位 mm姿势精度直线度背隙——0.005Ⅱ-169