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1502003001503006003406406409404485101010102020501002005020050020050050080020020040025050050050050010005605101030303030407040吸引量L/min2级2级2级3级3级3级3级3级3级3级底座长度滚珠丝杠导程mm行程mm速度mm/s清洁度等级(JISB9920:2002)TC60EB300(滚珠丝杠的导程:10mm)TC86EB640(滚珠丝杠的导程:20mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m35级上限4级上限3级上限1级上限测量值2级上限1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径粒子直径5级上限4级上限3级上限2级上限1级上限测量值行程:200mm速度:500mm/s吸引量:30L/minTC60EB600(滚珠丝杠的导程:10mm)TC86EB940(滚珠丝杠的导程:20mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径5级上限4级上限3级上限1级上限测量值2级上限1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径5级上限4级上限3级上限1级上限测量值2级上限行程:500mm速度:500mm/s吸引量:30L/minTC50EB150(滚珠丝杠的导程:4mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径行程:50mm速度:200mm/s吸引量:5L/minTC50EB300(滚珠丝杠的导程:8mm)1000001000010001001010.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子浓度个/m3粒子直径行程:200mm速度:400mm/s吸引量:10L/min行程:800mm速度:560mm/s吸引量:40L/min行程:500mm速度:1000mm/s吸引量:70L/min备注清洁度因使用环境及运行条件而异。●清洁度测量结果●测量数据例[清洁度等级的上限浓度图表]型号及大小尺寸TC50EBTC60EBTC86EB清洁度实测数据5级上限4级上限3级上限2级上限1级上限1级上限测量值测量值5级上限4级上限3级上限2级上限Ⅱ-172
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