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TC50EB150(滚珠丝杠的导程:4mm)行程:50mm速度:200mm/s吸引量:5L/minTC50EB300(滚珠丝杠的导程:8mm)行程:200mm速度:400mm/s吸引量:10L/min5级上限4级上限3级上限2级上限1级上限测量值100000100001000100101粒子浓度个/m35级上限4级上限3级上限2级上限测量值1级上限100000100001000100101粒子浓度个/m30.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子直径0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子直径TC60EB300(滚珠丝杠的导程:10mm)行程:200mm速度:500mm/s吸引量:30L/minTC60EB600(滚珠丝杠的导程:10mm)行程:500mm速度:500mm/s吸引量:30L/min5级上限4级上限3级上限2级上限测量值1级上限100000100001000100101粒子浓度个/m35级上限4级上限3级上限2级上限测量值1级上限100000100001000100101粒子浓度个/m30.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子直径0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子直径TC86EB640(滚珠丝杠的导程:20mm)行程:500mm速度:1000mm/s吸引量:70L/minTC86EB940(滚珠丝杠的导程:20mm)行程:800mm速度:560mm/s吸引量:40L/min5级上限4级上限3级上限2级上限测量值1级上限0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子直径100000100001000100101粒子浓度个/m35级上限4级上限3级上限2级上限1级上限测量值0.1μm以上0.2μm以上0.3μm以上0.5μm以上粒子直径100000100001000100101粒子浓度个/m3吸引量L/min清洁度等级(JISB9920:2002)51010303030304070402级2级2级3级3级3级3级3级3级3级Ⅱ-172行程mm5010020050200500200500500800速度mm/s2002004002505005005005001000560●清洁度测量结果型号及大小尺寸底座长度滚珠丝杠导程mm4485101010102020150200300150300600340640640940TC50EBTC60EBTC86EB备注清洁度因使用环境及运行条件而异。清洁度实测数据●测量数据例[清洁度等级的上限浓度图表]
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