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정밀도 정밀 위치 결정 테이블의 정밀도 규격은 형식에 따라 다르며, 그 측정 방법을 아래에 표시합니다. 또한, 원하시는 동작 특성 시험 등의 사용 조건에 맞게 모델 시험도 시행하고 있으니, IKO로 문의하여 주십시오.정밀 위치 결정 테이블에는, 각 형식의 정밀도 규격에 관한 검사성적표 또는 검사합격증이 첨부되어 있습니다. 반복 위치 결정 정밀도임의의 1점에 같은 방향으로 위치 결정을 7회 반복하여 정지 위치를 측정한 최대차의 1/2를 선정합니다.이 측정을 원칙으로 하여, 스트로크의 중앙 및 거의 양단의 각각의 위치에서 실시하여, 얻어진 값 중에서 최대치를 측정치로 합니다. 최대차의 1/2에 ±를 붙여서 표시합니다.ℓ1ℓ2ℓ7측정치ℓ1, ℓ2, …ℓ7의 최대차의1/2측정 간격이동 거리LΔL=(실제로 이동한 거리)—(이동 거리의 지령치)ΔL기준 위치MyMpXY위치 결정 정밀도기준 위치에서 일정 방향으로 순차 위치 결정을 실시하여, 각각의 위치에서 실제로 이동한 거리와 이동해야만 하는 거리와의 차를 측정하여, 그것들의 스트로크 내에 최대차를 절대치로 표시합니다.자세 정밀도(피칭, 요잉)스트로크 범위 내에서 테이블이 피칭 방향(Mp) 및 요잉 방향(My)으로 각각 기우는 각도를 레이저 각도 측정 시스템으로 측정하고, 이때의 최대차를 측정값으로 합니다.●피칭(Mp)테이블 이동 축에 대한 상하 방향의 각도 변화●요잉(My)테이블 이동 축에 대한 좌우 방향의 각도 변화테이블 운동의 평행도 A슬라이드 테이블의 운동과 평면(정밀 위치 결정 테이블 취부면)과의 평행도(인디케이터 고정 측정)를 말합니다.●슬라이드 테이블 길이보다 스트로크가 짧은 경우정밀 위치 결정 테이블을 취부한 정반 위에 테스트 인디케이터를 고정하고, 슬라이드 테이블 위에는 스트레이트 엣지를 놓고, 그 중안에 테스트 인디케이터를 접촉합니다. X방향 및 Y방향의 스트로크의 대부분 전역에 걸쳐서 측정하여, 이때의 최대차를 측정치로 합니다.●슬라이드 테이블 길이보다 스트로크가 긴 경우정밀 위치 결정 테이블을 취부한 정반 위에 테스트 인디케이터를 고정하고, 슬라이드 테이블 위에는 스트레이트 엣지를 놓고, 그 중앙에 테스트 인디케이터를 접촉합니다. X방향 및 Y방향의 스트로크 중에서, 테이블 길이 만큼씩 테이블을 이동시키면서, 스트로크의 대부분 전역에 걸쳐서 측정하여, 이때의 최대차를 측정치로 합니다.Ⅲ-13
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