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호칭번호 호칭번호의 배열 예1SA21120DE/354XYS5R64호칭번호선정 툴123456형식크기분해능축 구성표면 처리사양번호Ⅱ–281페이지Ⅱ–281페이지Ⅱ–281페이지Ⅱ–281페이지Ⅱ–281페이지Ⅱ–281페이지호칭번호와 사양의 상세 사항 123형식크기분해능4축 구성표1축 구성과 적용축 구성:X축만:θ축만(유한동작각 사양):θ축만(무한회전 사양) ( 1):XY 의 2축 구성:Xθ 의 2축 구성(θ축 유한동작각 사양):Xθ 의 2축 구성(θ축 무한회전 사양) ( 1)X S T XY XS XT XYS :XYθ 3축 구성(θ축 유한동작각 사양)XYT :XYθ 3축 구성(θ축 무한회전 사양) ( 1 )SA…DE:얼라이먼트 스테이지 SA65:□ 65, φ 65120:□120, φ120200:□200, φ2001:0.1μm5:0.5μmX축 또는 XY축의 엔코더 분해능을 지정합니다.4θ축만 또는 T: θ축만을 선택하는 경우에는 분해능을 무기호로 해주십시오.표1에 표시한 축 구성으로 부터 선택합니다.SA65DESA120DESA200DE○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○주(1 )앱솔루트 엔코더 사양은 개별 주문 생산 제품입니다. 주문 시에는 IKO에 문의하시기 바랍니다.5표면 처리6사양번호Ⅱ-281무기호 :무전해 니켈 도금R :흑색크롬 피막처리표면 처리는 테이블과 배드의 표면에 실시합니다. 축 구성에 T(무한회전 사양)가 포함된 경우에는 흑색크롬 피막처리를 적용할 수 없습니다.4:사양번호 4
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