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00.10.20.30.40.50.60.70.80.9이동 시간11.5210.088.647.25.764.322.881.440-1.44이동량초측정 조건SA120DE/1S탑재 질량이송 지령: 1000g: 1.44초실제 속도위치 결정 완료 신호시간지령 속도속도SA120DE/1X속도가감속 시간스트로크탑재 질량: 100mm/s: 20ms: 20mm: 250g구동 조건얼라이먼트 스테이지 SAPoints컴팩트한 XYθ 테이블직동안내부에 소형 직동안내기기 리니어웨이L, 회전 안내부에 크로스롤러베어링을 사용하여, 구동부에 다이렉트 드라이브 방식을 채택한 저단면 컴팩트 XYθ 운동을 실현하는 얼라이먼트 스테이지 입니다.XYθ 조합이 자유직선 이동용 X 테이블과 회전 위치 결정 θ 테이블을 기본 구성으로 하여 라인 업. X축과 θ축의 조합이나 XY축의 얼라이먼트 테이블을 간단히 구성할 수 있습니다.슬림형·컴팩트코어레스 리니어모터와 리니어웨이L, 크로스롤러베어링을 채택. 볼스크류 구동 스테이지와 비교해서, 지극히 낮은 단면 높이를 실현하고 있습니다.XY축Xθ축XYθ축크레지트 카드크레지트 카드高분해능·高응답高분해능 리니어 엔코더를 내장한 다이렉트 드라이브 방식의 스테이지를 풀 크로즈드 루프 제어하여, 高분해능과 高정밀도를 실현 하였습니다.1●2●3●4●Ⅱ-279
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