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테이블고정자 코일배드크로스롤러베어링가동자 마그네트주요 제품 사양정밀도구동리니어 모터직동안내기기ㆍ베어링윤활XY축:리니어웨이 (볼 타입)θ축:크로스롤러베어링윤활 부품「C루브」내장(θ축 및 SA65DE/X는 제외)테이블ㆍ배드의 재질탄소강센서 표준 장착반복 위치 결정 정밀도XY축:±0.0005θ축 :±0.5~1.3초단위 mm위치 결정 정밀도로스트 모션테이블 운동의 평행도 A테이블 운동의 평행도 B자세 정밀도진직도백레쉬———————Ⅱ-278
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