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NT30V8NT30V2010가속도m/s21001.000.10동적가반질량kg0.011NT30V20NT30V85101520253035401.21.00.80.60.40.200정격추력N010020030040050060043210추력N테이블의이동속도mm/s환경온도℃그림3NT30V추력특성그림4NT30V정격추력특성그림5NT30V동적가반질량비고금속제상대물에취부했을경우입니다.비고테이블이동속도500mm/s일때의추력으로부터산출한값입니다.NT38V10NT38V1810가속도m/s21001010.1동적가반질량kg0.011NT38V18NT38V1001020304050환경온도℃0.90.80.70.60.50.40.30.20.10정격추력N100200300400500600테이블의이동속도mm/sNT38V3.532.521.510.500추력N그림6NT38V추력특성그림7NT38V정격추력특성그림8NT38V동적가반질량비고금속제상대물에취부했을경우입니다.비고테이블이동속도500mm/s일때의추력NT55V●조합하는드라이버가ADVA-01NL,MR-J4의경우으로부터산출한값입니다.10가속도m/s21001010.1동적가반질량kg0.01101020304050환경온도℃86420정격추력N그림10NT55V정격추력특성그림11NT55V동적가반질량비고금속제상대물에취부했을경우입니다.비고테이블이동속도500mm/s일때의추력으로부터산출한값입니다.NT55V65NT55V2510가속도m/s21001010.1동적가반질량kg0.01101020304050환경온도℃86420정격추력N그림13NT55V정격추력특성그림14NT55V동적가반질량비고금속제상대물에취부했을경우입니다.비고테이블이동속도500mm/s일때의추력으로부터산출한값입니다.Ⅱ-25450010001500테이블의이동속도mm/s그림9NT55V추력특성4030201000추력N●조합하는드라이버가ADVA-R5ML의경우NT55V65NT55V2550010001500테이블의이동속도mm/s그림12NT55V추력특성4030201000N추력■NT…V추력특성NT30V
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