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표5NT…XZ,NT…XZH사양ㆍ성능형식과크기항목NT80XZ4510NT90XZH2510X축Z축X축Z축최대추력(1)N502570정격추력(2)N102.5자냉:16공냉(6):20최대가반질량kg0.10.2유효스트로크mm45102510분해능μm0.10.50.10.50.10.50.10.5최고속도(3)mm/s2701000(7)1300270800(7)8002701000()13002701000(7)1000반복위치결정정밀도(4)μm±0.5±0.5가동부질량kg0.6(8)0.120.380.35총질량(5)kg1.62.8사용주위온도ㆍ습도0~40˚Cㆍ20~80%RH(결로가없을것)주(1)최대추력의지속시간은최대1초입니다.(2)주위온도20˚C,금속제상대물에취부했을경우입니다.(3)사용하는컨트롤러의최대출력주파수,드라이버의종류및설정에따라이최고속도에도달하지않는경우도있습니다.(4)제품본체의온도가일정한경우입니다.()케이블질량은포함하지않습니다.()공기기류량20NL/min일때입니다.()고속사양에적용합니다.()Z축가동부질량을포함합니다.표4NT…H사양ㆍ성능형식과크기항목NT88H25NT88H65최대추력(1)N25정격추력(2)N5최대가반질량kg5유효스트로크mm2565분해능μm0.010.050.010.05최고속도(3)mm/s9040090400위치결정정밀도(4)μm1반복위치결정정밀도(5)μm±0.1운동평행도Aμm5자세정밀도(6)초5수직진직도ㆍ수평진직도μm1가동부질량kg0.70.9총질량(7)kg1.62사용주위온도ㆍ습도0~40˚Cㆍ20~80%RH(결로가없을것)주()최대추력의지속시간은최대1초입니다.()주위온도20˚C,금속제상대물에취부했을경우입니다.(3)사용하는컨트롤러의최대출력주파수,드라이버의종류및설정에따라이최고속도에도달하지않는경우도있습니다.(4)주위및제품본체의온도가20℃일때의값입니다.(5)제품본체의온도가일정한경우입니다.(6)피칭및요잉을표시합니다.(7)케이블질량은포함하지않습니다.Ⅱ-253각종특성