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精度テーブル昇降時の平行度の測定テーブルの最下段(Hmin)の位置において、テーブルの取り付け面を基準に、テーブル上面の測定ポイントE点でインジケータを0に合わせ、その値を基準に残りの8ポイント(A~I)の高さを測定します。テーブルを上昇させて、中段(Hmid)、上段(Hmax)においても、同様の測定を行い、下段、中段、上段における同一ポイントの測定値の最大差をそれぞれ求めます。全9ポイントにおける最大差の最大値をテーブル昇降時の平行度とします。【テーブル昇降時の平行度の計算例】測定値(μm)測定ポイントABCDEFGHI下段12340-1-2-3-4中段2-1420232-2上段13510333-4最大差142304562測定値が表のような場合、各ポイントの最大差の最大値はH点の6μmとなります。結果として、このテーブルの昇降時の平行度は6μmとなります。テーブル昇降時の直角度の測定テーブル昇降時の直角定規に対する直角性をテーブル昇降時の直角度とします。テーブルの下段(Hmin)において、直角定規に対して、インジケータを0に合わせます。その状態でテーブルの下段(Hmin)から、上段(Hmax)までストロークさせたときのピックテストの振れの最大差をテーブル昇降時の直角度とします。(テーブルストローク時の真直度成分を含みます。)直角定規はテーブルの端面から10mmの位置に設置し、ボールねじの軸方向と軸に直角な方向の2方向について測定を行い、2つの値の最大値をテーブル昇降時の直角度とします。【上段】【中段】ADGBEHCFI【下段】【測定ポイント】【測定方法】【軸方向の測定】(X方向)【軸に直角な方向の測定】(Y方向)Ⅲ15