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様々なステージとベースにアライメントモジュールAMを組み合わせ、用途に合わせたアライメントステージが自由に設計できます。●□2000クラスの大型ステージも対応!3●用途に合わせたステージを自由に設計可能2000mm2000mmアライメントモジュールAM精密位置決めテーブルTUをベースに、高剛性形クロスローラベアリングとリニアウェイを組み合わせ、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。●高さ調整が不要高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しています。各アライメントモジュールAMの高さ調整することなく、アライメントステージが構成できます。1●2Points多彩な動作を実現する位置決めモジュールアライメントステージの構成例と動作原理バリエーション形状WHL形式と大きさAM25AM40AM60AM86大きさW×L×H(mm)86×130×47120×180×78220×290×110350×390×148ストローク長さ(mm)303090120Ⅱ346
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