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表3LT・・・CEの性能形式と大きさ項目LT100CEGLT150CEGLT150CETF最大推力(1)N120350390定格推力N156070最大可搬質量kg123539分解能μm0.10.51.00.10.51.00.10.51.0最高速度(2)mm/s700200020007002000200070020002000繰返し位置決め精度(3)μm±0.5±0.5±1.0±0.5±0.5±1.0±0.5±0.5±1.0注(1)最大推力の持続時間は最大1秒です。(2)使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。(3)製品本体の温度が一定の場合です。表4LT・・・LDの性能形式と大きさ項目LT130LDGLT170LDGLT170LDVLT170LDTF最大推力(1)N120350145390定格推力N15602570最大可搬質量kg12352039分解能μm0.10.51.00.10.51.00.10.51.00.10.51.0最高速度(2)mm/s70020003000700200020007002000300070020002000繰返し位置決め精度(3)μm±0.5±0.5±1.0±0.5±0.5±1.0±0.5±0.5±1.0±0.5±0.5±1.0注(1)最大推力の持続時間は最大1秒です。(2)使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。(3)製品本体の温度が一定の場合です。表5LT・・・Hの性能形式と大きさ項目LT170H最大推力(1)N900定格推力(2)自冷N120空冷(3)N150最大可搬質量kg90分解能μm0.10.51.0最高速度(4)5)mm/s7001500(2000)1500(2000)繰返し位置決め精度(6)μm±0.5±0.5±1.0注(1)最大推力の持続時間は最大1秒です。(2)周囲温度が0〜25℃、鋼製架台に固定した場合です。詳細はⅡ302ページの図16をご参照ください。(3)空気流量30NL/minのときです。(4)1500mm/sを超える速度については、IKOにお問い合わせください。(5)使用するコントローラの最高出力周波数、ドライバの種類・設定によっては、この最高速度に達しない場合があります。(6)製品本体の温度が一定の場合です。Ⅱ299諸特性
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