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10mm/s速度安定性(測定周波数:1,000Hz):±1%以下時間s走行真直度:1μm以下位置mm1110.810.610.410.2109.89.69.49.2速度mm/s050真直度誤差μm-3001020304050位置mm姿勢精度:5秒以下ピッチングヨーイング30姿勢精度秒0●高い姿勢精度高精度に加工した部品とラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを組み合わせることにより、姿勢精度5秒以下を実現しています。移動による姿勢の変化が極めて少なく、位置の再現性に優れています。●高い速度安定性なめらかな動作のクロスローラウェイ、コアレスムービングマグネットタイプのリニアモータ、高性能なサーボドライバにより、速度安定性がさらに向上しました。●高い走行精度構成部品を精度よく仕上げ、組み立てることで、真直度1μm以下という高い走行精度を実現しています。Points123Ⅱ245ナノリニアNTNT…H[高精度タイプ]NT…Hは、テーブル案内部にローラタイプのラック&ピニオン内蔵形クロスローラウェイを使用し、1μm以下の位置決め精度と走行真直度で、高い剛性と空気静圧軸受にせまる脈動のないなめらかな作動を実現した高精度なリニアモータテーブルです。
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