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诸特性 表4 规格型号及大小尺寸楔形减速比滚珠丝杠导程mm分解能(1)μm/pulse行程长度mmTZ120X 2TZ120X 4TZ200H-2TZ200H-4TZ200X 2TZ200X 41 : 21 : 41 : 21 : 41 : 21 : 4452.0(0.1)1.0(0.1)2.5(0.1)1.25(0.1)2.5(0.1)1.25(0.1)注(1) 备注 电机的分度数表示1000pulse/rev时的值。()内表示选择带线性编码器、三菱电机(株)制J4/J5系列或松下(株)制MINAS A6系统时的值。10524122412表5 精度单位 mm型号及大小尺寸楔形减速比重复定位精度定位精度无效运动工作台升降时的平行度工作台升降时的垂直度TZ120X -2TZ120X -4TZ200H-2TZ200H-4TZ200X -2TZ200X -41 : 21 : 41 : 21 : 41 : 21 : 4备注 ()内表示带线性编码器时的值。±0.001±0.001±0.001-(0.005)-(0.005)-(0.005)0.001-0.0010.010-0.0100.010-0.010表6 最高速度型号及大小尺寸楔形减速比滚珠丝杠导程mm最高速度mm/sAC伺服电机步进电机TZ120X -2TZ120X -4TZ200H-2TZ200H-4TZ200X -2TZ200X -41 : 21 : 41 : 21 : 41 : 21 : 4451005012562.512562.5备注 实际的最高速度需要根据使用的电机和负载条件等相应的运行模式来探讨。60307537.57537.5Ⅱ-369