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校准工作台SASA⋯DEθ工作台直线电机驱动直线校准交叉滚子轴承动子磁铁机械止动器定子线圈动子磁铁定子线圈主要产品规格驱动直线电机直线导轨设备、轴承润滑XY轴:直线导轨(滚珠型)θ轴:交叉滚子轴承内置“C-Lube”自润滑部件θ轴及SA65DE/X除外)(工作台、底座的材质传感器碳素钢标配Ⅱ-273X工作台直线导轨线性编码器用读取头机械止动器精度重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙单位mmXY轴:±0.0005θ轴:±0.5～1.3秒———————
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