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θ工作台线性编码器用读取头机械止动器X工作台直线导轨交叉滚子轴承动子磁铁机械止动器定子线圈定子线圈动子磁铁无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙——————XY轴:±0.0005θ轴:±0.5～1.3秒校准工作台SA驱动工作台、底座的材质传感器直线电机XY轴:直线导轨(滚珠型)内置“C-Lube”自润滑部件碳素钢标配θ轴:交叉滚子轴承(θ轴及SA65DE/X除外)SA⋯DE直线导轨设备、轴承润滑重复定位精度定位精度—主要产品规格精度单位mm直线电机驱动直线校准Ⅱ-273
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