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微型精密定位工作台TMTM型号及大小尺寸TM15TM15G60500.5、1.0、1.50.5、1.0、1.57575最大行程(mm)最高速度(mm/s)滚珠丝杠导程(mm)重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙精度精密定位工作台TS・CTTS(单轴规格)CT(双轴规格)型号及大小尺寸TS55/55TS75/75TS25/25TS25/20TS20/20TS20/10TS60/50CT55/55CT75/75CT25/25CT20/20CT60/50CT50/50±7.5±12.5±25±60±75±25±7.5±12.5±25±60±25±25±7.5±12.5±25±60±60±90±125111、2、52、52、52、52、5111、2、52、52、52、530302502502502502503030250250250250最大行程(mm)X轴Y轴最高速度(mm/s)滚珠丝杠导程(mm)重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙精度滚珠丝杠驱动滚珠丝杠驱动直线直线规格规格页Ⅱ-186页Ⅱ-204●断面低、结构紧凑●通过采用交叉滚子直线导轨,实现了高可靠性、高精度定位●可利用滑台面积实现紧凑设计●采用研磨滚珠丝杠驱动,断面高20mm、宽仅17mm的极小尺寸●高定位精度和优异的耐久性●可根据用途选择的2种滑台形状●可内置超小型传感器Ⅰ-10
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