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型号及大小尺寸TX120MTX220MTX320MTX420MCTX120MCTX220M300400500800300×200400×3005、105、105、105、105、105、10500500448448500500最大行程(mm)最高速度(mm/s)滚珠丝杠导程(mm)重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙精度型号、尺寸介绍②丰富的型号及产品群高精密定位工作台TXTX⋯M(单轴规格)CTX⋯M(双轴规格)洁净精密定位工作台TCTC⋯EB型号及大小尺寸TC50EBTC60EBTC86EB2005008004、85、1010、204005001000最大行程(mm)最高速度(mm/s)滚珠丝杠导程(mm)重复定位精度定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙精度滚珠丝杠驱动滚珠丝杠驱动直线直线规格规格页Ⅱ-146页Ⅱ-168●最适合在半导体、液晶相关生产装置等要求高清洁度的环境下使用●轻量、低断面、紧凑的定位工作台●符合清洁度3级标准●内置C-Lube自润滑部件的长期免维护规格●以滚动导向型实现了出色的定位性能●以搭载超高精度线性编码器的全闭环控制实现了高精度●可根据用途选择控制方式●内置C-Lube自润滑部件的长期免维护规格Ⅰ-9
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