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高精密定位工作台TXTX⋯M (单轴规格)CTX⋯M (双轴规格)滚珠丝杠驱动直线● 以滚动导向型实现了出色的定位性能● 以搭载超高精度线性编码器的全闭环控制实现了高精度● 可根据用途选择控制方式● 内置C-Lube自润滑部件的长期免维护规格Ⅱ-168页Ⅱ-146页滚珠丝杠驱动直线规格型号及大小尺寸最大行程(mm)最高速度(mm/s)TX 120MTX 220MTX 320MTX 420MCTX 120MCTX 220M300400500800300 × 200400 × 300500500448448500500精度滚珠丝杠导程重复定位精度(mm)5、105、105、105、105、105、10定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙洁净精密定位工作台TCTC⋯EB● 最适合在半导体、液晶相关生产装置等要求高清洁度的环境下使用● 轻量、低断面、紧凑的定位工作台● 符合清洁度3级标准● 内置C-Lube自润滑部件的长期免维护规格规格型号及大小尺寸TC50EBTC60EBTC86EB最大行程(mm)200500800最高速度(mm/s)4005001 000精度滚珠丝杠导程重复定位精度(mm)4、 85、 10 10、 20定位精度无效运动工作台运动的平行度A工作台运动的平行度B姿势精度直线度背隙Ⅰ-9型号、尺寸介绍②丰富的型号及产品群
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