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정밀도테이블 승강시의 평행도 측정테이블의 최하단(Hmin)의 위치에서, 테이블의 취부면을 기준으로, 테이블 상면의 측정 포인트 E점에서 인디케이터를 0점으로 맞추고, 그 값을 기준으로 남은 8 포인트(A~I)의 높이를 측정합니다테이블을 상승시켜, 중간단(Hmid), 상단(Hmax)에서도, 동일한 측정을 수행하며, 하단, 중간단, 상단에 대한 동일 포인트의 측정치의 최대차를 각각 구합니다.모두 9 포인트에 대해 최대차의 최대치를 테이블 승강시의 평행도로 합니다.【상단】【테이블 승강시의 평행도 계산 예제】측정 포인트하단중간단상단최대차측정치(μm)【중간단】ADGBEHCFI【하단】【측정 포인트】【측정 방법】【축방향의 측정】(X방향)【축에 직각 방향의 측정】(Y방향)ABCDEFGHI 1 2 3 4 0-1-2-3-4 2-1 4 2 0 2 3 2-2 1 3 5 1 0 3 3 3-4142304562측정치가 표와 같은 경우, 각 포인트의 최대차의 최대치는, H점의 6μm이 됩니다.결과로써, 이 테이블의 승강시의 평행도는 6μm이 됩니다.테이블 승강시의 직각도 측정테이블 승강시의 직각자에 대한 직각성을 테이블 승강시의 직각도로 합니다.테이블 하단(Hmin)에 대해서, 직각자에 대해, 인디케이터를 0으로 맞춥니다. 그 상태로 테이블 하단(Hmin)에서 상단(Hmax)까지 스트로크를 움직였을 때의 피크 테스트의 진동 최대 편차를 테이블 승강시의 직각도로 합니다.(테이블 스트로크시의 진직도 요소를 포함합니다.)직각자는 테이블의 단면으로부터 10mm 위치에 설치하여, 볼스크류의 축방향과 축으로 직각인 2방향에 대하여 측정을 실시하고, 2개 값의 최대치를 테이블 승강시의 직각도로 합니다.Ⅲ-15