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다양한 스테이지와 베이스에 얼라이먼트 모듈 AM을 조합하여, 용도에 맞는 얼라이먼트 스테이지가 자유롭게 설계 가능 합니다.●□2000급 대형 스테이지 대응!2000mm2000mm얼라이먼트 모듈 AM용도에 맞게 스테이지를자유롭게 설계 가능3●다양한 동작을 실현하는 위치 결정 모듈정밀 위치 결정 테이블 TU를 베이스로 高강성 크로스롤러베어링와 리니어웨이를 조합하여, 얼라이먼트 스테이지용으로 개발된 위치 결정 모듈 높이 조정 필요 없음높이 치수의 허용차를 ±10μm로 高정밀도 관리하고 있습니다. 각 얼라이먼트 모듈 AM의 높이를 조정하지 않고도 얼라이먼트 스테이지 구성이 가능합니다.입니다.1●2●Points얼라이먼트 스테이지의 구성 예와 동작 원리기준 위치X운동Y운동XY운동중심 기준 각도 보정임의 위치 기준 각도 보정다양한 제품군형상WHL형식과 크기AM25AM40AM60AM86크기W × L × H (mm)86×130× 47120×180× 78220×290×110350×390×148스트로크 (mm)303090120Ⅱ-352
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