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다양한스테이지와베이스에얼라이먼트모듈AM을조합하여,용도에맞는얼라이먼트스테이지가자유롭게설계가능합니다.●□2000급대형스테이지대응!2000mm2000mm얼라이먼트모듈AM용도에맞게스테이지를자유롭게설계가능3●정밀위치결정테이블TU를베이스로高강성크로스롤러베어링와리니어웨이를조합하여,얼라이먼트스테이지용으로개발된위치결정모듈●높이조정필요없음높이치수의허용차를±10μm로高정밀도관리하고있습니다.각얼라이먼트모듈AM의높이를조정하지않고도얼라이먼트스테이지구성이가능합니다.Points다양한동작을실현하는위치결정모듈입니다.1●2얼라이먼트스테이지의구성예와동작원리기준위치X운동Y운동XY운동중심기준각도보정임의위치기준각도보정다양한제품군형상WHL형식과크기AM25AM40AM60AM86크기W×L×H(mm)86×130×47120×180×78220×290×110350×390×148스트로크(mm)303090120Ⅱ-346
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