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Points1●다양한동작을실현하는위치결정모듈정밀위치결정테이블TU를베이스로高강성크로스롤러베어링와리니어웨이를조합하여,얼라이먼트스테이지용으로개발된위치결정모듈입니다.3●용도에맞게스테이지를자유롭게설계가능다양한스테이지와베이스에얼라이먼트모듈AM을조합하여,용도에맞는얼라이먼트스테이지가자유롭게설계가능합니다.2●높이조정필요없음높이치수의허용차를±10μm로高정밀도관리하고있습니다.각얼라이먼트모듈AM의높이를조정하지않고도얼라이먼트스테이지구성이가능합니다.●□2000급대형스테이지대응!다양한제품군얼라이먼트스테이지의구성예와동작원리형상형식과크기스트로크(mm)AM25크기W×L×H(mm)86×130×4730AM40120×180×7830AM60220×290×11090AM86350×390×148120LHW얼라이먼트모듈AM2000mm2000mm기준위치XY운동중심기준각도보정X운동Y운동임의위치기준각도보정Ⅱ-340
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