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101001000가속도m/s21001010.11동적 가반 질량kg■LT…LD 추력 특성LT150CETF500100015002000테이블의 이동 속도mm/s4504003503002502001501005000추력N그림13LT170LDTF 추력 특성그림14LT170LDTF 동적 가반 질량비고테이블 이동 속도 1000mm/s일 때의 추력으로 부터 산출한 값 입니다.■LT…H 추력 특성2540환경 온도℃LT170H/CA(공냉)LT170H(자체 냉각)13511015012010050정격 추력N500100015002000테이블의 이동 속도mm/s그림15LT170H 추력 특성그림16LT170H 정격 추력 특성10008006004002000추력N10090101동적 가반 질량kg0.11101001000가속도m/s2그림17LT170H 동적 가반 질량비고테이블 이동 속도 1000mm/s일 때의 추력으로 부터 산출한 값 입니다.Ⅱ-308