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CAD취급설명서18294-M6깊이8(1)4-M6깊이8(1)200182160X축+-9204020-+Y축1201602004.54-M6탭 홀30306012040 얼라이먼트 스테이지 SA SA200DE/XY220φ200φ140303060φ56깊이308-M5깊이10(1)(등분 배치)-+X축SA200DE/XS、SA200DE/XT200136θ축cwccw324-M6탭 홀120404.51829주( 1 ) 비고 취부 볼트의 길이가 너무 길면 가동 테이블의 주행 성능에 악영향을 끼칠수 있기 때문에, 취부 나사 홀의 깊이보다 긴 볼트를 삽입하지 않도록 해 주십시오.케이블 길이는 SA200DE/X 및 SA200DE/S의 치수표를 참조해 주십시오.Ⅱ-293
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